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其他光(guang)學儀器(qì)

Polytec MSA-650 IRIS激光振(zhen)測儀

品(pǐn)　　牌：: Polytec
産　　地(di)：: 德國
型(xing)　　号：: Polytec MSA-650 IRIS激光(guang)振測儀(yi)
技術資(zī)料：: 産品(pǐn)資料下(xia)載中心(xīn)

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Polytec MSA-650 IRIS激(jī)光振測(ce)儀介紹(shào)
應用光(guang)學檢測(cè)矽封裝(zhuāng)MEMS元器件(jian)内部結(jié)構振動(dòng)特點
MEMS元(yuán)器件的(de)信息特(te)點檢測(cè)和機械(xie)設備回(huí)應數據(jù)可視化(hua)針對産(chan)品研發(fā)、常見故(gù)障解決(jue)和有限(xian)元分析(xi)實體💞模(mo)型認證(zheng)而言十(shí)分關鍵(jian)。
Polytec企業的(de)MSA顯微鏡(jìng)式激光(guang)測振儀(yi)能迅速(su)、精确地(dì)檢測超(chāo)☀️微🔱結構(gòu)的面外(wài)振動(OOP)揉(rou)面内振(zhen)動(IP)。
全新(xin)升級的(de)MSA-650IRIS顯微鏡(jìng)式激光(guāng)測振儀(yí)乃至可(ke)以通過(guò)🔴完善的(de)小型矽(xī)密封性(xing)元器件(jiàn)開展檢(jian)測，如慣(guan)性力👨‍❤️‍👨傳(chuán)感器，MEMS話(huà)筒，工作(zuò)壓力傳(chuan)感器等(děng)。
根據矽(xi)封裝元(yuán)器件的(de)不一樣(yàng)層檢測(cè)MEMS動态性(xìng)特點
即(jí)時面外(wài)振動檢(jian)測，較大(da)網絡帶(dai)寬達到(dào)25MHz
亞皮米(mi)級面外(wai)振動偏(piān)移屏幕(mu)分辨率(lǜ)
MEMS元器件(jian)的最後(hòu)有限元(yuan)分析實(shí)體模型(xing)認證
能(néng)夠更好(hǎo)地分離(lí)出來元(yuan)器件的(de)每個層(ceng)
頻閃法(fǎ)檢測平(píng)行面振(zhèn)動，網絡(luo)帶寬達(da)到2.5MHz
便于(yú)集成化(hua)至生産(chǎn)流水線(xiàn)的自動(dong)測量系(xì)統軟件(jian)(兼容商(shang)業探針(zhen)台)
能夠(gou)更好地(di)分離出(chū)來元器(qì)件的每(mei)個層

特(tè)點
MSA-650IRIS檢測(ce)系統軟(ruǎn)件包含(hán)控制闆(pǎn)、含有附(fù)加參照(zhào)安全通(tōng)道的頻(pin)💘率計，極(ji)高精密(mì)度紅外(wài)光源的(de)光學頭(tóu)和強有(yǒu)力的配(pei)💘套設施(shi)程序包(bao)。
其專用(yòng)型的紅(hong)外相機(jī)和低相(xiàng)關SLD源，是(shì)在其通(tong)過矽帽(mào)獲得🙇🏻詳(xiang)細矽封(feng)裝構造(zao)在作業(ye)情況下(xia)的全部(bu)層制構(gou)造的信(xin)息性能(néng)的重要(yao)。
矽封裝(zhuāng)MEMS元器件(jiàn)的多形(xing)式檢測(cè)
因為矽(xi)在光波(bo)長為1050nm以(yi)上的近(jin)紅外光(guāng)譜中是(shi)通透🌈的(de)❌，根據紅(hong)外線幹(gàn)涉儀的(de)振動精(jing)确測量(liàng)技術性(xing)促🤟使獲(huò)得密封(fēng)性MEMS元器(qi)件最真(zhen)正和最(zui)有象征(zheng)性的振(zhen)動特點(dian)變成很(hen)有可能(neng)。
Polytec全新升(shēng)級的最(zui)現代化(hua)的且已(yǐ)得到發(fā)明的MSA系(xì)統軟件(jiàn)能保證(zheng)最🛀好網(wǎng)站安全(quan)性，更強(qiáng)的分離(lí)出來MEMS元(yuan)器件的(de)每個層(ceng)。MSA-650IRIS顯📱微鏡(jing)式激光(guang)測振儀(yí)内嵌專(zhuan)用型紅(hong)外相機(jī)和低相(xiang)關SLD源，是(shì)當前通(tong)過矽封(fēng)裝構造(zao)獲得詳(xiáng)細動态(tài)📐性性能(néng)的🚩系統(tong)軟件❤️，實(shí)際上時(shi)面外振(zhen)動網絡(luo)帶寬達(dá)到25MHz，平行(hang)面振🈲動(dòng)屏幕分(fèn)辨率低(di)至30nm。

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